1 、非接触式测量：避免物件受损。 2 、三维表面测量：表面高度测量范围为 1nm ---200μm。 3 、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。 4 、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。 5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。 6 、扫描仪：采用闭环控制系统。 7、工作台：气动装置、抗震、抗压。 8 、测量软件：基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。 机型 | SIS 1200 | SIS 2000 | 工作台 | 尺寸 | 250 mm×174 mm | 350mm×350mm | 倾斜度 | ±3° | 测量行程 | X:150mm Y:100mm | X:200mm Y:200mm | Z轴行程 | 50mm | 100mm | 运动方式 | 手动 | 自动，马达驱动 | 扫描速度 | 30μm/sec | 垂直分辨率 | 0.1 nm | CCD | 黑白CCD，640×480像素 | 物镜安装架 | 手动导引五孔式 | 手动5个位移的可定位夹具 | 镜头选配 | 镜头：5×、10×、20×、50× |
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